진공펌프기계 선정
Apr 05, 2024| ⑴진공 펌프가 작동 중 발생하는 진동이 공정 및 환경에 영향을 미치는지 여부. 공정에서 허용하지 않는 경우 진동 없는 펌프를 선택하거나 진동 방지 조치를 취해야 합니다.
⑵ 펌핑 가스의 구성, 응축성 증기 포함 여부, 입자상 먼지 포함 여부, 부식성 여부 등을 이해합니다. 진공 펌프를 선택할 때는 가스 구성을 알고 펌핑할 가스에 해당하는 펌프를 선택해야 합니다. 가스에 증기, 입자 및 부식성 가스가 포함된 경우 펌프의 공기 흡입 파이프라인에 응축기, 집진기 등의 보조 장비를 설치하는 것을 고려해야 합니다.
⑶진공펌프는 진공장비 공정 중 발생하는 모든 가스를 작동압력 내에서 배출할 수 있어야 한다.
⑷진공 펌프를 올바르게 결합합니다. 진공 펌프는 선택적 펌핑 기능이 있기 때문에 때로는 한 종류의 펌프로는 펌핑 요구 사항을 충족할 수 없고, 여러 펌프를 결합하여 펌핑 요구 사항을 충족해야 합니다. 예를 들어, 티타늄 승화 펌프는 수소에 대한 펌핑 속도가 빠르지만 헬륨은 펌핑할 수 없고, 삼극 스퍼터링 이온 펌프(또는 다이오드 비대칭 음극 스퍼터링 이온 펌프)는 아르곤에 대한 일정한 펌핑 속도를 가지고 있습니다. 결합하면 진공 장치가 더 나은 진공도를 얻을 수 있습니다. 또한 일부 진공 펌프는 대기압에서 작동할 수 없고 사전 진공이 필요합니다. 일부 진공 펌프는 출구 압력이 대기압보다 낮아 백업 펌프가 필요하므로 펌프를 결합해야 합니다.
⑸ 진공 장비의 오일 오염에 대한 요구 사항. 장비에 오일 프리가 엄격히 요구되는 경우, 수링 펌프, 분자체 흡착 펌프, 스퍼터링 이온 펌프, 극저온 펌프 등과 같은 다양한 오일 프리 펌프를 선택해야 합니다. 요구 사항이 엄격하지 않은 경우 오일 펌프를 선택하고 콜드 트랩, 배플, 오일 트랩 등을 추가하는 것과 같은 오일 오염 방지 조치를 추가하여 깨끗한 진공 요구 사항을 달성할 수 있습니다.
⑹ 진공 펌프의 작동점을 올바르게 선택하십시오. 각 유형의 펌프에는 일정한 작동 압력 범위가 있습니다. 예를 들어, 2BV 시리즈 수링 진공 펌프의 작동 압력 범위는 760mmHg~25mmHg(절대 압력)입니다. 이처럼 넓은 압력 범위 내에서 펌프의 펌핑 속도는 압력에 따라 변합니다(자세한 변경 사항은 펌프 성능 곡선 참조). 안정적인 작동 압력 범위는 760~60mmHg입니다. 따라서 펌프의 작동점은 이 범위 내에서 선택해야 하며 25~30mmHg 이하에서 장시간 작동하도록 해서는 안 됩니다.
⑺진공 펌프에서 배출되는 오일 증기는 환경에 어떤 영향을 미칩니까? 환경이 오염을 허용하지 않는 경우 오일 프리 진공 펌프를 선택하거나 오일 증기를 야외에서 배출할 수 있습니다.
⑻진공 펌프의 작동 압력은 진공 장비의 궁극 진공 및 작동 압력 요구 사항을 충족해야 합니다. 예를 들어, 특정 진공 건조 공정에는 10mmHg의 작동 진공도가 필요합니다. 선택된 진공 펌프의 궁극 진공도는 최소 2mmHg, 바람직하게는 1mmHg여야 합니다. 일반적으로 펌프의 궁극 진공도는 진공 장비의 작동 진공도보다 절반에서 한 자릿수 더 높게 선택됩니다.
⑼진공펌프의 가격, 운전 및 유지관리 비용
기계 설치
⑴진공펌프는 지면이 견고한 곳에 설치하여야 하며, 주변에는 점검, 유지관리, 보수가 용이하도록 충분한 공간을 확보하여야 합니다.
⑵ 진공 펌프 바닥 아래의 기초는 수평을 유지해야 합니다. 진공 펌프의 원활한 작동과 낮은 진동을 보장하기 위해 바닥의 네 모서리를 충격 흡수 고무로 패딩하거나 볼트로 설치하는 것이 좋습니다.
⑶진공 펌프와 시스템 사이의 연결 파이프는 확실하게 밀봉해야 합니다. 소형 진공 펌프의 경우 금속 파이프를 사용하여 개스킷을 연결하고 내유성 고무를 사용할 수 있습니다. 소형 진공 펌프의 경우 진공 호스를 사용하여 연결할 수 있습니다. 파이프의 직경은 진공 펌프의 흡입 직경보다 작아서는 안 되며 파이프는 짧아야 합니다. 그리고 굽힘이 적어야 합니다. (파이프라인을 용접할 때는 파이프라인의 용접 슬래그를 제거해야 하며 용접 슬래그가 진공 펌프 캐비티에 들어가는 것을 엄격히 금지해야 합니다.)
⑷연결 파이프라인에서 사용자는 진공 펌프의 공기 입구 위에 밸브와 진공 게이지를 설치하여 언제든지 진공 펌프의 최대 압력을 확인할 수 있습니다.
⑸ 모터 명판에 맞게 전원을 연결하고 접지선을 연결한 후, 적정 사양의 퓨즈 및 열동 릴레이를 설치합니다.
⑹ 진공펌프의 시운전을 위해 전원을 켤 때는 모터벨트를 제거하고 진공펌프를 지정된 방향으로 돌려서만 사용할 수 있습니다. 이렇게 하면 진공펌프가 연료 분사를 역전시키는 것을 방지할 수 있습니다. (보호커버에 표시된 방향으로 돌려주세요.)
⑺ 냉각수를 사용하는 진공펌프의 경우, 규정에 따라 냉각수를 연결하세요.
⑻진공펌프 포트에 솔레노이드 밸브가 설치된 경우, 밸브와 진공펌프는 동시에 작동해야 합니다.
⑼ 진공펌프에서 배출되는 가스가 작업환경에 영향을 줄 경우 배기구에 파이프를 설치하여 배출하거나 오일미스트 필터를 설치할 수 있습니다.


